凈化車間具體工藝對溫度的要求，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小；要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

　　濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)*溫度范圍為35—45%。

　　凈化車間壓差控制的基本原理是控制送風量、回風量和排風量。當送入凈化車間內(nèi)的空氣量適當?shù)拇笥诨仫L和排風量時，室內(nèi)則可維持一定的正壓值。此時，在室內(nèi)外靜壓差的作用下，通過圍護結(jié)構(gòu)不嚴密處向外滲漏的風量與機械進出風量的差額相等。

　　凈化車間壓差維持的難題在于機械送風量與出風量是動態(tài)變化的。對于潔凈空調(diào)系統(tǒng)來說，過濾器積塵會造成新風、送風管路阻力增加，從而影響風量，排風設(shè)備的時開時停也會導致排風量的變化；此外，與樓道、室外相鄰還會因熱壓、風壓的變化影響房間的壓差。因此潔凈室的壓差值需要經(jīng)常進行檢查，并依次對新、送、回、排風通路的閥門作出相應(yīng)的調(diào)整。